化學性能非常穩(wěn)定，耐強酸，包括極強的路易氏酸，耐強堿。與接觸的任何特種氣體如氟氣，強腐蝕性物質(zhì)，強氧化劑，還原劑均不發(fā)生反應(yīng)

應(yīng)用：1.用于半導(dǎo)體工業(yè)真空泵油，得到世界著名真空泵制造商，如萊寶Leybold、愛德華Edwards、荏原Ebara等的認可。

2.尤其半導(dǎo)體芯片加工過程中的蝕刻和沉淀過程特種氣體處理。

3.其他特種氣體行業(yè)真空系統(tǒng)泵浦中